คลีนรูม (Cleanroom) หรืà¸à¸—ี่มัà¸à¹€à¸£à¸µà¸¢à¸à¸à¸±à¸™à¸§à¹ˆà¸² "ห้à¸à¸‡à¸›à¸¥à¸à¸”เชื้à¸" หมายถึง ห้à¸à¸‡à¸ªà¸°à¸à¸²à¸”ที่มีà¸à¸²à¸£à¸„วบคุมปริมาณà¸à¸™à¸¸à¸ าค à¸à¸¸à¹ˆà¸™à¸¥à¸°à¸à¸à¸‡à¹à¸¥à¸°à¸ªà¸´à¹ˆà¸‡à¸›à¸™à¹€à¸›à¸·à¹‰à¸à¸™à¸•à¹ˆà¸²à¸‡à¹†à¹ƒà¸«à¹‰à¸¡à¸µà¹„ม่เà¸à¸´à¸™à¸£à¸°à¸”ับที่à¸à¸³à¸«à¸™à¸”ไว้ นà¸à¸à¸ˆà¸²à¸à¸™à¸±à¹‰à¸™à¸¢à¸±à¸‡à¸£à¸§à¸¡à¹„ปถึงà¸à¸²à¸£à¸„วบคุมปัจจัยเสริมต่างๆ ได้à¹à¸à¹ˆ คุณลัà¸à¸©à¸“ะà¹à¸¥à¸°à¸„วามเร็วขà¸à¸‡à¸¥à¸¡ à¸à¸¸à¸“หภูมิ à¹à¸£à¸‡à¸”ัน à¹à¸¥à¸°à¸£à¸°à¸”ับความชื้นสัมพัทธ์ภายในห้à¸à¸‡à¸à¸µà¸à¸”้วย
à¸à¸²à¸£à¸ˆà¸±à¸”à¹à¸šà¹ˆà¸‡ Class ขà¸à¸‡ Clean Room ดังนี้
1. Class 100 หมายถึง ห้à¸à¸‡à¸—ี่มีà¸à¸™à¸¸à¸ าคขนาด 0.5 ไมครà¸à¸™à¸«à¸£à¸·à¸à¹ƒà¸«à¸à¹ˆà¸à¸§à¹ˆà¸² ไม่เà¸à¸´à¸™ 100 à¸à¸™à¸¸à¸ าคต่à¸à¸à¸²à¸à¸²à¸¨à¸«à¸™à¸¶à¹ˆà¸‡à¸¥à¸¹à¸à¸šà¸²à¸¨à¸à¹Œà¸Ÿà¸¸à¸•
2. Class 1,000 หมายถึง ห้à¸à¸‡à¸—ี่มีà¸à¸™à¸¸à¸ าคขนาด 0.5 ไมครà¸à¸™à¸«à¸£à¸·à¸à¹ƒà¸«à¸à¹ˆà¸à¸§à¹ˆà¸² ไม่เà¸à¸´à¸™ 1,000 à¸à¸™à¸¸à¸ าคต่à¸à¸à¸²à¸à¸²à¸¨à¸«à¸™à¸¶à¹ˆà¸‡à¸¥à¸¹à¸à¸šà¸²à¸¨à¸à¹Œà¸Ÿà¸¸à¸•
3. Class 10,000 หมายถึง ห้à¸à¸‡à¸—ี่มีà¸à¸™à¸¸à¸ าคขนาด 0.5 ไมครà¸à¸™à¸«à¸£à¸·à¸à¹ƒà¸«à¸à¹ˆà¸à¸§à¹ˆà¸² ไม่เà¸à¸´à¸™ 10,000 à¸à¸™à¸¸à¸ าคต่à¸à¸à¸²à¸à¸²à¸¨à¸«à¸™à¸¶à¹ˆà¸‡à¸¥à¸¹à¸à¸šà¸²à¸¨à¸à¹Œà¸Ÿà¸¸à¸•
à¸à¸²à¸£à¸ˆà¸±à¸”à¹à¸šà¹ˆà¸‡ Class ขà¸à¸‡ Clean Room ดังนี้
1. Class 100 หมายถึง ห้à¸à¸‡à¸—ี่มีà¸à¸™à¸¸à¸ าคขนาด 0.5 ไมครà¸à¸™à¸«à¸£à¸·à¸à¹ƒà¸«à¸à¹ˆà¸à¸§à¹ˆà¸² ไม่เà¸à¸´à¸™ 100 à¸à¸™à¸¸à¸ าคต่à¸à¸à¸²à¸à¸²à¸¨à¸«à¸™à¸¶à¹ˆà¸‡à¸¥à¸¹à¸à¸šà¸²à¸¨à¸à¹Œà¸Ÿà¸¸à¸•
2. Class 1,000 หมายถึง ห้à¸à¸‡à¸—ี่มีà¸à¸™à¸¸à¸ าคขนาด 0.5 ไมครà¸à¸™à¸«à¸£à¸·à¸à¹ƒà¸«à¸à¹ˆà¸à¸§à¹ˆà¸² ไม่เà¸à¸´à¸™ 1,000 à¸à¸™à¸¸à¸ าคต่à¸à¸à¸²à¸à¸²à¸¨à¸«à¸™à¸¶à¹ˆà¸‡à¸¥à¸¹à¸à¸šà¸²à¸¨à¸à¹Œà¸Ÿà¸¸à¸•
3. Class 10,000 หมายถึง ห้à¸à¸‡à¸—ี่มีà¸à¸™à¸¸à¸ าคขนาด 0.5 ไมครà¸à¸™à¸«à¸£à¸·à¸à¹ƒà¸«à¸à¹ˆà¸à¸§à¹ˆà¸² ไม่เà¸à¸´à¸™ 10,000 à¸à¸™à¸¸à¸ าคต่à¸à¸à¸²à¸à¸²à¸¨à¸«à¸™à¸¶à¹ˆà¸‡à¸¥à¸¹à¸à¸šà¸²à¸¨à¸à¹Œà¸Ÿà¸¸à¸•